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存在非线性相位阶跃、谐波和噪声情况下的相移干涉测量法。

Phase-shifting interferometry in the presence of nonlinear phase steps, harmonics, and noise.

作者信息

Langoju Rajesh, Patil Abhijit, Rastogi Pramod

机构信息

Applied Computing and Mechanics Laboratory, Ecole Polytechnique Fédérale de Lausanne, 1015 Lausanne, Switzerland.

出版信息

Opt Lett. 2006 Apr 15;31(8):1058-60. doi: 10.1364/ol.31.001058.

DOI:10.1364/ol.31.001058
PMID:16625902
Abstract

A phase-shifting piezo device commonly employed in phase-shifting interferometry exhibits a nonlinear response to applied voltage. Hence, a method for estimation of phase distribution in the presence of nonlinear phase steps is presented. The proposed method compensates for the harmonics present in the intensity fringe, allows the use of arbitrary phase-step values between 0 and tau rad, and does not impose constraints on the selection of particular phase-step values for minimizing nonlinearity and compensating for the harmonics. The comparison of the proposed method with other well-known benchmarking algorithms shows that our method is highly efficient and also works well in the presence of noise.

摘要

相移干涉测量中常用的相移压电装置对施加电压呈现非线性响应。因此,提出了一种在存在非线性相位步长情况下估计相位分布的方法。该方法补偿强度条纹中存在的谐波,允许使用0到τ弧度之间的任意相位步长值,并且不对选择特定相位步长值以最小化非线性和补偿谐波施加约束。将该方法与其他著名的基准算法进行比较表明,我们的方法效率很高,并且在存在噪声的情况下也能很好地工作。

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