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基于聚对二甲苯的封装流体微机电系统传感器。

Parylene-based encapsulated fluid MEMS sensors.

作者信息

Meng Ellis, Gutierrez Christian

机构信息

Department of Biomedical and Electrical Engineering, Viterbi School of Engineering, University of Southern California, Los Angeles, CA 90089-1111, USA.

出版信息

Annu Int Conf IEEE Eng Med Biol Soc. 2009;2009:1039-41. doi: 10.1109/IEMBS.2009.5334826.

DOI:10.1109/IEMBS.2009.5334826
PMID:19964947
Abstract

A new class of transducers based on a Parylene C encapsulated fluid element are introduced. These versatile units have thus far been explored as impedance-based contact sensors and electrolysis-based actuators for fine positioning of neural recording electrodes. These sensors may be fabricated on thin, flexible substrates which permits application on non-planar or three dimensional surfaces. Another interesting modality is the coupling of individual mechanically-responsive, impedance-based sensing elements distributed over a surface but interconnected through microfluidic channel networks in a manner that emulates mechanotransduction in natural biological systems. These fluidic elements offer interesting new possibilities in neural prosthetics.

摘要

介绍了一类基于聚对二甲苯C封装流体元件的新型换能器。到目前为止,这些多功能单元已被用作基于阻抗的接触传感器和基于电解的致动器,用于神经记录电极的精确定位。这些传感器可以制造在薄的柔性基板上,这允许应用于非平面或三维表面。另一个有趣的方式是将分布在表面上但通过微流体通道网络相互连接的单个机械响应式、基于阻抗的传感元件进行耦合,其方式模拟了自然生物系统中的机械转导。这些流体元件在神经假体中提供了有趣的新可能性。

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