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Ellipsometric method for separate measurements of n and d of a transparent film.

作者信息

Yamaguchi T, Takahashi H

出版信息

Appl Opt. 1975 Aug 1;14(8):2010-5. doi: 10.1364/AO.14.002010.

DOI:10.1364/AO.14.002010
PMID:20154951
Abstract

This paper describes an ellipsometric method that enables separate measurements of refractive index n and thickness d of a transparent film at an arbitrary angle of incidence and thus facilitates optical monitoring of a growing film. The method is useful for homogeneous transparent films deposited on a transparent substrate.

摘要

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