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Fabrication of 3D metamaterial resonators using self-aligned membrane projection lithography.

作者信息

Burckel D Bruce, Wendt Joel R, Ten Eyck Gregory A, Ellis A Robert, Brener Igal, Sinclair Michael B

机构信息

Sandia National Laboratories, Albuquerque, NM 87185, USA.

出版信息

Adv Mater. 2010 Aug 3;22(29):3171-5. doi: 10.1002/adma.200904153.

DOI:10.1002/adma.200904153
PMID:20533414
Abstract
摘要

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