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利用胶体晶体模板溅射制备大规模ZnO纳米碗阵列

Sputtering fabrication of large scale ZnO nanobowl arrays using colloidal crystal templates.

作者信息

Tao Yinglei, Fu Ming, Zhao Ailun, He Dawei, Wang Yongsheng

机构信息

Key Laboratory of Luminescence and Optical Information, Ministry of Education, Institute of Optoelectronic Technology, Beijing Jiaotong University, Beijing 100044, China.

出版信息

J Nanosci Nanotechnol. 2010 Nov;10(11):7603-6. doi: 10.1166/jnn.2010.2912.

DOI:10.1166/jnn.2010.2912
PMID:21137992
Abstract

Ordered ZnO nanobowl arrays over cm2 areas were prepared by magnetron sputtering using the self-assembled polystyrene spheres arrays as templates. The process started with self-assembled sedimentation of there-dimensional (3D) hexagonal polystyrene sphere arrays. By depositing ZnO within the interstitials of 3D polystyrene colloidal crystal templates using magnetron sputtering, large-area ordered ZnO nanobowl sheets were prepared after removing the spheres by annealing. The whole nanobowl sheet could be lifted off, leaving accidentally observed inverse opal structures. The sizes of the nanobowls could be controlled by the size of the polystyrene spheres, the height of nanobowl sheets could be altered by changing sputtering parameters.

摘要

以自组装聚苯乙烯球体阵列作为模板,通过磁控溅射制备了面积超过平方厘米的有序氧化锌纳米碗阵列。该过程始于三维(3D)六方聚苯乙烯球体阵列的自组装沉降。通过磁控溅射在3D聚苯乙烯胶体晶体模板的间隙内沉积氧化锌,在通过退火去除球体后制备了大面积有序氧化锌纳米碗片。整个纳米碗片可以被掀起,意外地观察到反蛋白石结构。纳米碗的尺寸可以通过聚苯乙烯球体的尺寸来控制,纳米碗片的高度可以通过改变溅射参数来改变。

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