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用于片上实验室应用的新型全差分 CMOS 电容到数字转换器。

A New Fully Differential CMOS Capacitance to Digital Converter for Lab-on-Chip Applications.

出版信息

IEEE Trans Biomed Circuits Syst. 2015 Jun;9(3):353-61. doi: 10.1109/TBCAS.2014.2336596. Epub 2014 Aug 11.

Abstract

In this paper, we present a new differential CMOS capacitive sensor for Lab-on-Chip applications. The proposed integrated sensor features a DC-input ΣΔ capacitance to digital converter (CDC) and two reference and sensing microelectrodes integrated on the top most metal layer in 0.35 μm CMOS process. Herein, we describe a readout circuitry with a programmable clocking strategy using a Charge Based Capacitance Measurement technique. The simulation and experimental results demonstrate a high capacitive dynamic range of 100 fF-110 fF, the sensitivity of 350 mV/fF and the minimum detectable capacitance variation of as low as 10 aF. We also demonstrate and discuss the use of this device for environmental applications through various chemical solvents.

摘要

本文提出了一种用于片上实验室应用的新型差分 CMOS 电容传感器。所提出的集成传感器具有一个直流输入 ΣΔ 电容数字转换器 (CDC) 和两个参考和传感微电极,集成在 0.35 μm CMOS 工艺的最顶层金属层上。本文描述了一种使用基于电荷的电容测量技术的可编程时钟策略的读出电路。仿真和实验结果表明,其具有 100 fF-110 fF 的高电容动态范围、350 mV/fF 的灵敏度和低至 10 aF 的最小可检测电容变化。我们还通过各种化学溶剂展示并讨论了该器件在环境应用中的使用。

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