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基于迂回相位计算全息图的二维艾里光束衍射光学元件的激光制造。

Laser fabrication of diffractive optical elements based on detour-phase computer-generated holograms for two-dimensional Airy beams.

作者信息

Călin Bogdan-Ştefăniţă, Preda Liliana, Jipa Florin, Zamfirescu Marian

出版信息

Appl Opt. 2018 Feb 20;57(6):1367-1372. doi: 10.1364/AO.57.001367.

DOI:10.1364/AO.57.001367
PMID:29469838
Abstract

We have designed, fabricated, and tested an amplitude diffractive optical element for generation of two-dimensional (2D) Airy beams. The design is based on a detour-phase computer-generated hologram. Using laser ablation of metallic films, we obtained a 2  mm×2  mm diffractive optical element with a pixel of 5  μm×5  μm and demonstrated a fast, cheap, and reliable fabrication process. This device can modulate 2D Airy beams or it can be used as a UV lithography mask to fabricate a series of phase holograms for higher energy efficiency. Tests according to the premise and an analysis of the transverse profile and propagation are presented.

摘要

我们设计、制作并测试了一种用于生成二维(2D)艾里光束的振幅衍射光学元件。该设计基于迂回相位计算全息图。通过对金属薄膜进行激光烧蚀,我们获得了一个像素为5μm×5μm、尺寸为2mm×2mm的衍射光学元件,并展示了一种快速、廉价且可靠的制作工艺。该器件可调制二维艾里光束,也可作为紫外光刻掩模来制作一系列相位全息图以提高能量效率。文中给出了基于该前提的测试以及对横向剖面和传播的分析。

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