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Quantitative determination of the topography of microelectronic devices by SEM micrographs.

作者信息

Hieke E, Sofronijevie D, Widmann D

出版信息

J Phys E. 1977 Feb;10(2):183-6. doi: 10.1088/0022-3735/10/2/020.

DOI:10.1088/0022-3735/10/2/020
PMID:864613
Abstract
摘要

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Quantitative determination of the topography of microelectronic devices by SEM micrographs.通过扫描电子显微镜图像对微电子器件的形貌进行定量测定。
J Phys E. 1977 Feb;10(2):183-6. doi: 10.1088/0022-3735/10/2/020.
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