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Creation of near-interface defects in hydrogenated amorphous silicon-silicon nitride heterojunctions: The role of hydrogen.

作者信息

Jackson WB, Moyer MD

出版信息

Phys Rev B Condens Matter. 1987 Oct 15;36(11):6217-6220. doi: 10.1103/physrevb.36.6217.

DOI:10.1103/physrevb.36.6217
PMID:9942322
Abstract
摘要

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1
Creation of near-interface defects in hydrogenated amorphous silicon-silicon nitride heterojunctions: The role of hydrogen.氢化非晶硅-氮化硅异质结中近界面缺陷的产生：氢的作用。
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引用本文的文献

1
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