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无像差光刻系统用于制作全息衍射光学元件。

Aberration-free lithography setup for fabrication of holographic diffractive optical elements.

机构信息

Systems Toxicology Unit, Institute for Health and Consumer Protection, European Commission-DG Joint Research Centre, I-21027 Ispra (VA), Italy.

出版信息

Opt Lett. 2009 Oct 1;34(19):3006-8. doi: 10.1364/OL.34.003006.

DOI:10.1364/OL.34.003006
PMID:19794797
Abstract

A holographic optical lithography setup with extremely small longitudinal spherical aberration is described. The setup is used for the fabrication of holographic diffractive optical elements intended to collect light emitted from a fluorescence spot located on a biochip surface. A key feature of the optical setup is its ability to simulate a point-source-like fluorescence spot. A detailed description of the setup together with its optical properties are provided. The fluorescence light collection efficiency of the holographic diffractive optical elements produced using this setup is demonstrated.

摘要

介绍了一种具有极小纵向球差的全息光学光刻系统。该系统用于制作全息衍射光学元件,用于收集位于生物芯片表面上的荧光点发出的光。光学系统的一个关键特点是能够模拟点源样的荧光点。提供了该系统的详细描述及其光学特性。展示了使用该系统制作的全息衍射光学元件的荧光光收集效率。

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