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Vacuum-assisted aerosol deposition of a low-dielectric-constant periodic mesoporous organosilica film.

作者信息

Wang Wendong, Grozea Daniel, Kim Ara, Perovic Douglas D, Ozin Geoffrey A

机构信息

Chemistry Department, University of Toronto, Toronto, Ontario, Canada.

出版信息

Adv Mater. 2010 Jan 5;22(1):99-102. doi: 10.1002/adma.200901498.

DOI:10.1002/adma.200901498
PMID:20217705
Abstract
摘要

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