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Dielectric function of sputter-deposited silicon dioxide and silicon nitride films in the thermal infrared.

作者信息

Eriksson T S, Jiang S, Granqvist C G

出版信息

Appl Opt. 1985 Mar 15;24(6):745-6. doi: 10.1364/AO.24.000745.

DOI:10.1364/AO.24.000745
PMID:20436634
Abstract
摘要

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Dielectric function of sputter-deposited silicon dioxide and silicon nitride films in the thermal infrared.溅射沉积二氧化硅和氮化硅薄膜在热红外波段的介电函数
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