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溶胶-凝胶法制备掺铋钛酸锶薄膜及其在可调微波器件中的应用。

Characterization of doped BST thin films deposited by sol-gel for tunable microwave devices.

机构信息

Laboratoire d'Etude des Materiaux et des Composants pour l'Electronique at the Université du Littoral-Côte d'Opale, Calais-62228, France.

出版信息

IEEE Trans Ultrason Ferroelectr Freq Control. 2010 May;57(5):1029-33. doi: 10.1109/TUFFC.2010.1514.

DOI:10.1109/TUFFC.2010.1514
PMID:20442013
Abstract

BST thin films with various dopants were grown by the sol-gel method on platinized silicon and MgO substrates. Their dielectric properties were investigated at low frequency (up to 1 MHz) on silicon with parallel-plate capacitors and at high frequency (up to 15 GHz) with interdigitated capacitors on MgO substrate. The results depend on the nature of the dopant and show that Mg is a very good candidate to reduce dielectric losses. On the other hand, K is a good candidate as dopant of BST thin film to drastically increase the tunability.

摘要

采用溶胶-凝胶法在镀铂硅和氧化镁衬底上生长了各种掺杂的 BST 薄膜。在硅衬底上用平行板电容器在低频(高达 1 MHz)和在氧化镁衬底上用叉指电容器在高频(高达 15 GHz)下研究了它们的介电性能。结果取决于掺杂剂的性质,并表明 Mg 是降低介电损耗的非常好的候选者。另一方面,K 是作为 BST 薄膜掺杂剂来显著提高调谐性的良好候选者。

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