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用于激光等离子体软X射线投影光刻光源的原型高速带状靶材传输装置。

Prototype high-speed tape target transport for a laser plasma soft-x-ray projection lithography source.

作者信息

Haney S J, Berger K W, Kubiak G D, Rockett P D, Hunter J

出版信息

Appl Opt. 1993 Dec 1;32(34):6934-7. doi: 10.1364/AO.32.006934.

DOI:10.1364/AO.32.006934
PMID:20856548
Abstract

A prototype high-speed tape target transport is constructed for use in a high-repetition-rate laser plasma source. To reduce plasma debris, a 1000-5000-A-thick film of target material is supported by thin Mylar tape backing. Tape is transported to the laser focal volume at a maximum velocity of 356 cm/s, a rate sufficient to accommodate laser repetition rates of 1 kHz. The transport is fully vacuum compatible and can be retracted and then isolated from the laser plasma vacuum enclosure during tape reel replacement. The operating characteristics of the transport are described.

摘要

为用于高重复率激光等离子体源,构建了一种原型高速带靶传输装置。为减少等离子体碎片,靶材料的1000 - 5000埃厚的薄膜由薄聚酯薄膜带背衬支撑。带子以最高356厘米/秒的速度传输到激光聚焦区域,该速度足以适应1千赫的激光重复率。该传输装置完全与真空兼容,并且在更换带盘期间可以缩回,然后与激光等离子体真空外壳隔离。描述了该传输装置的运行特性。

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