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与硅集成电路杂交的大型空间光调制器阵列。

Large arrays of spatial light modulators hybridized to silicon integrated circuits.

作者信息

Worchesky T L, Ritter K J, Martin R, Lane B

出版信息

Appl Opt. 1996 Mar 10;35(8):1180-6. doi: 10.1364/AO.35.001180.

DOI:10.1364/AO.35.001180
PMID:21085230
Abstract

Large, high-frame-rate spatial light modulators are key components required for the realization of real-time optical processors. We report a 128 × 128 array of GaAs-based optical modulators that we hybridized to a Si integrated circuit by using In bump bonds to form a spatial light modulator. These optical modulators are composed of a series of quantum wells within an asymmetric Fabry-Perot cavity to control the optical properties. The resulting 128 × 128 element array operates in an intensity-only reflection mode at greater than 100,000 frames per second. This array interfaces to a 486-based personal computer through a standard industry standard architecture bus.

摘要

大型、高帧率空间光调制器是实现实时光学处理器所需的关键组件。我们报道了一种基于砷化镓的128×128阵列光学调制器,通过铟凸点键合将其与硅集成电路混合,形成一个空间光调制器。这些光学调制器由非对称法布里-珀罗腔内的一系列量子阱组成,用于控制光学特性。所得的128×128元件阵列以仅强度反射模式运行,每秒帧率超过100000帧。该阵列通过标准的工业标准架构总线与基于486的个人计算机连接。

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