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三维光子带隙材料中的波导通过直接激光写入和硅双反转实现。

Waveguides in three-dimensional photonic-bandgap materials by direct laser writing and silicon double inversion.

机构信息

Institut für Angewandte Physik and DFG-Center for Functional Nanostructures (CFN), Karlsruhe Institute of Technology (KIT), D-76128 Karlsruhe, Germany.

出版信息

Opt Lett. 2011 Jan 1;36(1):67-9. doi: 10.1364/OL.36.000067.

DOI:10.1364/OL.36.000067
PMID:21209689
Abstract

Three-dimensional complete photonic-bandgap materials offer unique opportunities regarding the integration of optical waveguide architectures in three dimensions. However, corresponding experimental realizations are truly sparse. Here, we fabricate such waveguides using direct laser writing and a silicon double-inversion procedure. The optical characterization is in good agreement with theoretical calculations, raising hopes that even more complex architectures may soon come into reach.

摘要

三维完全光子带隙材料在三维光波导结构的集成方面提供了独特的机会。然而,相应的实验实现却非常稀少。在这里,我们使用直接激光写入和硅双反转工艺来制造这种波导。光学特性与理论计算吻合良好,这让人们对制造更复杂的结构充满了希望。

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引用本文的文献

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