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基于使用标准光学平板的白光干涉测量法的旋转角度测量。

Rotation angle measurement based on white-light interferometry with a standard optical flat.

作者信息

Yun Hyo Geun, Kim Seung Hwan, Jeong Heung Sun, Kim Kyong Hon

机构信息

Department of Physics, Inha University, 253 Yonghyun-dong, Nam-gu, Incheon 402-751, South Korea.

出版信息

Appl Opt. 2012 Feb 20;51(6):720-5. doi: 10.1364/AO.51.000720.

DOI:10.1364/AO.51.000720
PMID:22358161
Abstract

We propose a simple white-light interferometric method of measuring a one-dimensional rotation angle with use of an optical plane parallel plate of standard refractive index. The phase change of the interference pattern of the interferometer during the rotation of the flat plate of known refractive index and thickness placed in one of the interferometer's arms is used for determination of the rotation angle. This method has been demonstrated for an accurate angle measurement over the angle range from 0° to 40° within a maximum uncertainty of 0.057°.

摘要

我们提出了一种简单的白光干涉测量方法,用于测量一维旋转角度,该方法使用具有标准折射率的光学平行平板。通过放置在干涉仪其中一个臂中的已知折射率和厚度的平板旋转过程中,干涉仪干涉图样的相位变化来确定旋转角度。该方法已被证明可在0°至40°的角度范围内进行精确角度测量,最大不确定度为0.057°。

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引用本文的文献

1
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Sensors (Basel). 2019 Apr 5;19(7):1634. doi: 10.3390/s19071634.