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Nanolithography: Painting with block copolymers.

作者信息

Register Richard A

机构信息

Department of Chemical and Biological Engineering, Princeton University, Princeton, New Jersey 08544, USA.

出版信息

Nat Nanotechnol. 2013 Sep;8(9):618-9. doi: 10.1038/nnano.2013.175. Epub 2013 Aug 25.

DOI:10.1038/nnano.2013.175
PMID:23975189
Abstract
摘要

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Nanolithography: Painting with block copolymers.纳米光刻：用嵌段共聚物进行图案化处理
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