用于混合TiO2/电光聚合物波导调制器的介孔溶胶-凝胶二氧化硅包层

Mesoporous sol-gel silica cladding for hybrid TiO2/electro-optic polymer waveguide modulators.

作者信息

Enami Yasufumi, Kayaba Yasuhisa, Luo Jingdong, Jen Alex K-Y

出版信息

Opt Express. 2014 Jun 30;22(13):16418-23. doi: 10.1364/OE.22.016418.

DOI:10.1364/OE.22.016418

Abstract

We report the efficient poling of an electro-optic (EO) polymer in a hybrid TiO(2)/electro-optic polymer multilayer waveguide modulator on mesoporous sol-gel silica cladding. The mesoporous sol-gel silica has nanometer-sized pores and a low refractive index of 1.24, which improves mode confinement in the 400-nm-thick EO polymer film in the modulators and prevents optical absorption from the lower Au electrode, thereby resulting in a lower half-wave voltage of the modulators. The half-wave voltage (Vπ) of the hybrid modulator fabricated on the mesoporous sol-gel silica cladding is 6.0 V for an electrode length (Le) of 5 mm at a wavelength of 1550 nm (VπLe product of 3.0 V·cm) using a low-index guest-host EO polymer (in-device EO coefficient of 75 pm/V).

摘要

我们报道了在介孔溶胶 - 凝胶二氧化硅包层上的混合TiO₂/电光聚合物多层波导调制器中对电光（EO）聚合物进行有效极化的情况。介孔溶胶 - 凝胶二氧化硅具有纳米尺寸的孔隙和1.24的低折射率，这改善了调制器中400纳米厚的EO聚合物薄膜中的模式限制，并防止了来自下部金电极的光吸收，从而导致调制器的半波电压较低。在介孔溶胶 - 凝胶二氧化硅包层上制造的混合调制器，在波长为1550纳米时，对于5毫米的电极长度（Le），半波电压（Vπ）为6.0 V（VπLe乘积为3.0 V·cm），使用的是低折射率客体 - 主体EO聚合物（器件内EO系数为75 pm/V）。