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用于三点平面测试中绝对平面度校准的迭代算法。

Iterative algorithm for absolute planarity calibration in three-flat test.

作者信息

He Yuhang, Gao Bo, Xu Kaiyuan, Liu Ang, Li Qiang, Chai Liqun

出版信息

Opt Express. 2014 Nov 3;22(22):27669-74. doi: 10.1364/OE.22.027669.

DOI:10.1364/OE.22.027669
PMID:25401910
Abstract

An iterative algorithm is presented to calibrate the shapes of the reference surfaces in three-flat test. Three measurements in three-flat test determine the even part of the flat surfaces. The odd part can be obtained by adding one or more rotation measurements and using analytical recovery algorithm. Here we present an iterative algorithm to obtain the odd part instead of special analytical recovery algorithm. The iterative algorithm is purely numerical, and only involved in data rotation operation. A simulation experiment proves the validity and high accuracy of the proposed algorithm method.

摘要

提出了一种迭代算法,用于校准三平面测试中参考表面的形状。三平面测试中的三次测量确定了平面的偶数部分。奇数部分可以通过添加一次或多次旋转测量并使用解析恢复算法来获得。在这里,我们提出一种迭代算法来获得奇数部分,而不是使用特殊的解析恢复算法。该迭代算法是纯数值的,仅涉及数据旋转操作。仿真实验证明了所提算法方法的有效性和高精度。

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