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精密干涉位移测量中波长变化的校正

Corrections for Wavelength Variations in Precision Interferometric Displacement Measurements.

作者信息

Stone Jack, Phillips Steven D, Mandolfo Gary A

机构信息

National Institute of Standards and Technology, Gaithersburg, MD 20899-0001.

Hewlett Packard Co., Santa Clara, CA 95052-9952.

出版信息

J Res Natl Inst Stand Technol. 1996 Sep-Oct;101(5):671-674. doi: 10.6028/jres.101.065.

DOI:10.6028/jres.101.065
PMID:27805085
原文链接:https://pmc.ncbi.nlm.nih.gov/articles/PMC4907619/
Abstract

Precision interferometric displacement measurements require deadpath corrections to account for variations in wavelength during the course of the measurement. This paper discusses common errors in applying deadpath corrections and describes the correction necessary to fully account for variations in wavelength.

摘要

精密干涉位移测量需要进行死程校正，以考虑测量过程中波长的变化。本文讨论了应用死程校正时的常见误差，并描述了充分考虑波长变化所需的校正方法。