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通过高分辨率三维扫描电子显微镜摄影测量法评估工程表面粗糙度

Assessment of engineered surfaces roughness by high-resolution 3D SEM photogrammetry.

作者信息

Gontard L C, López-Castro J D, González-Rovira L, Vázquez-Martínez J M, Varela-Feria F M, Marcos M, Calvino J J

机构信息

Departamento de Ciencia de los Materiales e Ingeniería Metalúrgica y Química Inorgánica, Universidad de Cádiz, Puerto Real 11510, Spain.

Departamento de Ciencia de los Materiales e Ingeniería Metalúrgica y Química Inorgánica, Escuela Superior de Ingeniería, Laboratorio de Corrosión, Universidad de Cádiz, Puerto Real 11519, Spain.

出版信息

Ultramicroscopy. 2017 Jun;177:106-114. doi: 10.1016/j.ultramic.2017.03.007. Epub 2017 Mar 7.

DOI:10.1016/j.ultramic.2017.03.007
PMID:28340394
Abstract

We describe a methodology to obtain three-dimensional models of engineered surfaces using scanning electron microscopy and multi-view photogrammetry (3DSEM). For the reconstruction of the 3D models of the surfaces we used freeware available in the cloud. The method was applied to study the surface roughness of metallic samples patterned with parallel grooves by means of laser. The results are compared with measurements obtained using stylus profilometry (PR) and SEM stereo-photogrammetry (SP). The application of 3DSEM is more time demanding than PR or SP, but it provides a more accurate representation of the surfaces. The results obtained with the three techniques are compared by investigating the influence of sampling step on roughness parameters.

摘要

我们描述了一种使用扫描电子显微镜和多视图摄影测量法(3DSEM)获取工程表面三维模型的方法。为了重建表面的三维模型,我们使用了云端可用的免费软件。该方法被应用于研究通过激光加工有平行凹槽的金属样品的表面粗糙度。将结果与使用触针轮廓仪(PR)和扫描电子显微镜立体摄影测量法(SP)获得的测量结果进行比较。3DSEM的应用比PR或SP更耗时,但它能更准确地呈现表面情况。通过研究采样步长对粗糙度参数的影响,比较了这三种技术获得的结果。

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