具有嵌入式相变材料的硅波导光开关。

Silicon waveguide optical switch with embedded phase change material.

作者信息

Miller Kevin J, Hallman Kent A, Haglund Richard F, Weiss Sharon M

出版信息

Opt Express. 2017 Oct 30;25(22):26527-26536. doi: 10.1364/OE.25.026527.

DOI:10.1364/OE.25.026527

Abstract

Phase-change materials (PCMs) have emerged as promising active elements in silicon (Si) photonic systems. In this work, we design, fabricate, and characterize a hybrid Si-PCM optical switch. By integrating vanadium dioxide (a PCM) within a Si photonic waveguide, in a non-resonant geometry, we achieve ~10 dB broadband optical contrast with a PCM length of 500 nm using thermal actuation.

摘要

相变材料（PCM）已成为硅（Si）光子系统中很有前景的有源元件。在这项工作中，我们设计、制造并表征了一种混合硅 - 相变材料光开关。通过在非谐振几何结构的硅光子波导中集成二氧化钒（一种相变材料），利用热驱动，我们在相变材料长度为500 nm的情况下实现了约10 dB的宽带光学对比度。