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用于7微米至12微米中红外波段的宽带多层减反射涂层。

Broadband multilayer anti-reflection coating for mid-infrared range from 7  μm to 12  μm.

作者信息

Matsuoka Yohei, Mathonnèire Sylvain, Peters Sven, Masselink W Ted

出版信息

Appl Opt. 2018 Mar 1;57(7):1645-1649. doi: 10.1364/AO.57.001645.

DOI:10.1364/AO.57.001645
PMID:29522013
Abstract

We describe a design concept for broadband anti-reflection coatings for the mid-infrared that allows thinner film thickness and characterize its properties in the mid-infrared range from 7 μm to 12 μm. Two demonstrator coatings comprising zinc sulfide, yttrium fluoride, and germanium, all of which are deposited by electron beam evaporation on indium phosphide substrates, are optimized for the 7-12 μm and the 10-12 μm ranges. They exhibit less than 1.0% reflection over the target wavelength ranges with notably thin coating thickness.

摘要

我们描述了一种用于中红外波段的宽带抗反射涂层的设计概念,该概念可实现更薄的膜厚,并对其在7微米至12微米的中红外范围内的特性进行了表征。两种由硫化锌、氟化钇和锗组成的演示涂层,均通过电子束蒸发沉积在磷化铟衬底上,针对7 - 12微米和10 - 12微米波段进行了优化。它们在目标波长范围内的反射率低于1.0%,且涂层厚度显著较薄。

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