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利用数字全息显微镜对光存储设备进行表面形貌特征分析。

Surface topographic characterization of optical storage devices by Digital Holographic Microscopy.

机构信息

Laser and Holographic Laboratory, Department of Physics, Indian Institute of Technology (ISM), Dhanbad 826004, Jharkhand, India.

Laser and Holographic Laboratory, Department of Physics, Indian Institute of Technology (ISM), Dhanbad 826004, Jharkhand, India.

出版信息

Micron. 2023 Jul;170:103459. doi: 10.1016/j.micron.2023.103459. Epub 2023 Apr 12.

DOI:10.1016/j.micron.2023.103459
PMID:37087963
Abstract

In this study, we have used Digital Holographic Microscopy (DHM) for surface topographic characterization of the optical storage devices. Optical storage devices like Compact Discs (CDs) and Digital Versatile discs (DVDs) are used worldwide for memory storage, grating, sensing and spectroscopy applications. These devices can store the information in binary form on a spiral track in the data recording layer. We demonstrate that these data tracks can be characterized through DHM and one can decode the binary data in transmission mode. The experimental results are shown for blank (without data) and burned (with data) areas of CDs and DVDs. The average width of the CD and DVD data track is experimentally found to be 600 ± 30 nm & 230 ± 20 nm, respectively and the thickness of the data recording track is obtained as 80 ± 10 nm. The obtained results are verified by Field Emission Scanning Electron Microscopy (FESEM) measurements and found a very close agreement between the two results. In addition, the proposed method can also be used for manufacturing defect identification and measurement.

摘要

在这项研究中,我们使用数字全息显微镜 (DHM) 对光存储设备的表面形貌进行了表征。全球范围内使用光盘 (CD) 和数字通用光盘 (DVD) 等光存储设备进行存储、光栅、传感和光谱应用。这些设备可以在数据记录层的螺旋轨道上以二进制形式存储信息。我们证明可以通过 DHM 对这些数据轨道进行表征,并且可以在传输模式下对二进制数据进行解码。显示了空白(无数据)和刻录(有数据)区域的 CD 和 DVD 的实验结果。实验发现 CD 和 DVD 数据轨道的平均宽度分别为 600 ± 30nm 和 230 ± 20nm,数据记录轨道的厚度为 80 ± 10nm。通过场发射扫描电子显微镜 (FESEM) 测量验证了获得的结果,并且两个结果之间非常吻合。此外,该方法还可用于制造缺陷的识别和测量。

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