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Anomalous sheath heating in a low pressure rf discharge in nitrogen.

作者信息

Turner MM, Hopkins MB

出版信息

Phys Rev Lett. 1992 Dec 14;69(24):3511-3514. doi: 10.1103/PhysRevLett.69.3511.

DOI:10.1103/PhysRevLett.69.3511
PMID:10046840
Abstract
摘要

相似文献

1
Anomalous sheath heating in a low pressure rf discharge in nitrogen.氮气中低压射频放电时的异常鞘层加热
Phys Rev Lett. 1992 Dec 14;69(24):3511-3514. doi: 10.1103/PhysRevLett.69.3511.
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引用本文的文献

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