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蘸笔纳米光刻技术:一种采用高通量柔性纳米图案化的“桌面纳米制造”方法。

Dip Pen Nanolithography: a "Desktop Nanofab" approach using high-throughput flexible nanopatterning.

作者信息

Haaheim Jason, Nafday Omkar A

机构信息

NanoInk Inc., Skokie, Illinois 60077, USA.

出版信息

Scanning. 2008 Mar-Apr;30(2):137-50. doi: 10.1002/sca.20098.

DOI:10.1002/sca.20098
PMID:18320598
Abstract

The ability to perform controllable nanopatterning with a broad range of "inks" at ambient conditions is a key aspect of the dip pen nanolithography (DPN) technique. The traditional ink system to demonstrate DPN is n-alkanethiols on a gold substrate, but the DPN method has found numerous other applications since. This article is meant to outline recent advances in the DPN toolkit, both in terms of research and patterning technology, and to discuss applications of DPN as a viable nanofabrication method. We will summarize new DPN developments, and introduce our concept of the "Desktop Nanofab." In addition, we outline our efforts to commercialize DPN as a viable nanofabrication technique by demonstrating massively parallel nanopatterning with the 55,000 tip 2D nano PrintArray. This demonstrates our ability to overcome the serial nature of DPN patterning and enable high-throughput nanofabrication.

摘要

在环境条件下使用多种“墨水”进行可控纳米图案化的能力是蘸笔纳米光刻(DPN)技术的一个关键方面。用于演示DPN的传统墨水系统是在金基底上的正链烷硫醇,但自那以后DPN方法已发现了许多其他应用。本文旨在概述DPN工具包在研究和图案化技术方面的最新进展,并讨论DPN作为一种可行的纳米制造方法的应用。我们将总结DPN的新进展,并介绍我们的“桌面纳米制造”概念。此外,我们通过展示使用55,000个针尖的二维纳米打印阵列进行大规模并行纳米图案化,概述了我们将DPN作为一种可行的纳米制造技术商业化的努力。这展示了我们克服DPN图案化的串行性质并实现高通量纳米制造的能力。

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引用本文的文献

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