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高精度石英晶体薄膜监测仪。

High accuracy quartz crystal thin film monitor.

作者信息

Ramadan B, Piyakis K, Kos J F

机构信息

Department of Physics and Astronomy, Universtiy of Regina, Regina, Saskatchewan, Canada.

出版信息

Rev Sci Instrum. 1979 Jul;50(7):867-71. doi: 10.1063/1.1135941.

DOI:10.1063/1.1135941
PMID:18699622
Abstract

A quartz resonator thin film monitor of exceptionally high accuracy and resolution has been developed. It is capable of providing measurements with an effective resolution of 0.001 nm and a corresponding relative accuracy of about 1% for a 0.100-nm-thick film of gold. A novel dual oscillator and mixer using integrated circuits is also described.

摘要

已开发出一种具有极高精度和分辨率的石英谐振器薄膜监测器。对于0.100纳米厚的金薄膜,它能够提供有效分辨率为0.001纳米且相应相对精度约为1%的测量结果。还介绍了一种使用集成电路的新型双振荡器和混频器。

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High accuracy quartz crystal thin film monitor.高精度石英晶体薄膜监测仪。
Rev Sci Instrum. 1979 Jul;50(7):867-71. doi: 10.1063/1.1135941.
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引用本文的文献

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