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Applied physics. Two beams squeeze feature sizes in optical lithography.

作者信息

Perry Joseph W

机构信息

School of Chemistry and Biochemistry and Center for Organic Photonics and Electronics, Georgia Institute of Technology, Atlanta, GA 30332, USA.

出版信息

Science. 2009 May 15;324(5929):892-3. doi: 10.1126/science.1174224.

DOI:10.1126/science.1174224
PMID:19443774
Abstract
摘要

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1
Applied physics. Two beams squeeze feature sizes in optical lithography.应用物理学。两束光在光学光刻中缩小特征尺寸。
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引用本文的文献

1
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