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Optical lithography with printed metal mask and a simple superhydrophobic surface.

作者信息

Kim Tae-il, Baek Chang hoon, Suh Kahp Y, Seo Soon-min, Lee Hong H

机构信息

School of Chemical and Biological Engineering, Seoul National University, Seoul, 151-742, Korea.

出版信息

Small. 2008 Feb;4(2):182-5. doi: 10.1002/smll.200700882.

DOI:10.1002/smll.200700882
PMID:18200650
Abstract
摘要

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1
Optical lithography with printed metal mask and a simple superhydrophobic surface.采用印刷金属掩膜和简单超疏水表面的光学光刻技术。
Small. 2008 Feb;4(2):182-5. doi: 10.1002/smll.200700882.
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