• 文献检索
  • 文档翻译
  • 深度研究
  • 学术资讯
  • Suppr Zotero 插件Zotero 插件
  • 邀请有礼
  • 套餐&价格
  • 历史记录
应用&插件
Suppr Zotero 插件Zotero 插件浏览器插件Mac 客户端Windows 客户端微信小程序
定价
高级版会员购买积分包购买API积分包
服务
文献检索文档翻译深度研究API 文档MCP 服务
关于我们
关于 Suppr公司介绍联系我们用户协议隐私条款
关注我们

Suppr 超能文献

核心技术专利：CN118964589B侵权必究
粤ICP备2023148730 号-1Suppr @ 2026

文献检索

告别复杂PubMed语法，用中文像聊天一样搜索，搜遍4000万医学文献。AI智能推荐，让科研检索更轻松。

立即免费搜索

文件翻译

保留排版，准确专业，支持PDF/Word/PPT等文件格式，支持 12+语言互译。

免费翻译文档

深度研究

AI帮你快速写综述，25分钟生成高质量综述，智能提取关键信息，辅助科研写作。

立即免费体验

溅射 SiO2 作为低声阻抗材料用于 BAW 谐振器中的布拉格反射镜制造。

Sputtered SiO2 as low acoustic impedance material for Bragg mirror fabrication in BAW resonators.

机构信息

Grupo de Microsistemas y Materiales Electronicos of Universidad Politecnica de Madrid, Madrid, Spain.

出版信息

IEEE Trans Ultrason Ferroelectr Freq Control. 2010 Jan;57(1):23-9. doi: 10.1109/TUFFC.2010.1374.

DOI:10.1109/TUFFC.2010.1374
PMID:20040422
Abstract

In this paper we describe the procedure to sputter low acoustic impedance SiO(2) films to be used as a low acoustic impedance layer in Bragg mirrors for BAW resonators. The composition and structure of the material are assessed through infrared absorption spectroscopy. The acoustic properties of the films (mass density and sound velocity) are assessed through X-ray reflectometry and picosecond acoustic spectroscopy. A second measurement of the sound velocity is achieved through the analysis of the longitudinal lambda/2 resonance that appears in these silicon oxide films when used as uppermost layer of an acoustic reflector placed under an AlN-based resonator.

摘要

本文介绍了溅射低声阻抗 SiO(2) 薄膜的工艺，该薄膜将用作 BAW 谐振器布拉格反射镜中的低声阻抗层。通过红外吸收光谱评估材料的组成和结构。通过 X 射线反射法和皮秒声波谱法评估薄膜的声特性（质量密度和声速）。当将这种氧化硅薄膜用作置于基于 AlN 的谐振器下方的声反射器的最上层时，通过分析出现在这些氧化硅薄膜中的纵向 λ/2 共振，可以实现对声速的第二次测量。

相似文献

1
Sputtered SiO2 as low acoustic impedance material for Bragg mirror fabrication in BAW resonators.溅射 SiO2 作为低声阻抗材料用于 BAW 谐振器中的布拉格反射镜制造。
IEEE Trans Ultrason Ferroelectr Freq Control. 2010 Jan;57(1):23-9. doi: 10.1109/TUFFC.2010.1374.
2
Tunable bulk acoustic wave resonators based on Ba0.25Sr0.75TiO3 thin films and a HfO2/SiO2 bragg reflector.基于 Ba0.25Sr0.75TiO3 薄膜和 HfO2/SiO2 布拉格反射镜的可调谐体声波谐振器。
IEEE Trans Ultrason Ferroelectr Freq Control. 2011 Dec;58(12):2768-71. doi: 10.1109/TUFFC.2011.2142.
3
Ultra-miniature coupled resonator filter with single-layer acoustic coupler.具有单层声耦合器的超微型耦合谐振滤波器。
IEEE Trans Ultrason Ferroelectr Freq Control. 2009 Nov;56(11):2553-8. doi: 10.1109/TUFFC.2009.1342.
4
A SAW resonator with two-dimensional reflectors.具有二维反射镜的声表面波谐振器。
IEEE Trans Ultrason Ferroelectr Freq Control. 2010 Jan;57(1):30-7. doi: 10.1109/TUFFC.2010.1375.
5
High-Q X-band distributed Bragg resonator utilizing an aperiodic alumina plate arrangement.利用非周期性氧化铝板排列的高 Q X 波段分布式布拉格反射器。
IEEE Trans Ultrason Ferroelectr Freq Control. 2010 Jan;57(1):66-73. doi: 10.1109/TUFFC.2010.1380.
6
Super-high-frequency two-port AlN contour-mode resonators for RF applications.用于射频应用的超高频率两端口 AlN 轮廓模式谐振器。
IEEE Trans Ultrason Ferroelectr Freq Control. 2010 Jan;57(1):38-45. doi: 10.1109/TUFFC.2010.1376.
7
Experimental investigation of acoustic substrate losses in 1850-MHz thin film BAW resonators.1850MHz 薄膜体声波谐振器中声波基底损耗的实验研究。
IEEE Trans Ultrason Ferroelectr Freq Control. 2009 Nov;56(11):2544-52. doi: 10.1109/TUFFC.2009.1341.
8
High-Q AlN/SiO2 symmetric composite thin film bulk acoustic wave resonators.高品质氮化铝/二氧化硅对称复合薄膜体声波谐振器。
IEEE Trans Ultrason Ferroelectr Freq Control. 2008 Nov;55(11):2463-8. doi: 10.1109/TUFFC.953.
9
The primary resonance of laminated piezoelectric rectangular plates.层压压电矩形板的主共振。
IEEE Trans Ultrason Ferroelectr Freq Control. 2009 Nov;56(11):2522-9. doi: 10.1109/TUFFC.2009.1339.
10
Bulk acoustic wave filters synthesis and optimization for multi-standard communication terminals.用于多标准通信终端的体声波滤波器综合与优化。
IEEE Trans Ultrason Ferroelectr Freq Control. 2010 Jan;57(1):52-8. doi: 10.1109/TUFFC.2010.1378.