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Electron-resist fabrication of bends and couplers for integrated optical circuits.

作者信息

Goell J E

出版信息

Appl Opt. 1973 Apr 1;12(4):729-36. doi: 10.1364/AO.12.000729.

DOI:10.1364/AO.12.000729
PMID:20125379
Abstract

The fabrication of complex integrated optical circuits using thin films will require dielectric patterns of high resolution and edge smoothness. This paper describes an electron-beam technique that has been used to form a curved thin-film light guide and a directional coupler, and is applicable to filters and other more complex components.

摘要

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