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用于检测平面的外差式斐索干涉仪。

Heterodyne Fizeau interferometer for testing flat surfaces.

作者信息

Barnes T H

出版信息

Appl Opt. 1987 Jul 15;26(14):2804-9. doi: 10.1364/AO.26.002804.

DOI:10.1364/AO.26.002804
PMID:20489964
Abstract

A heterodyne Fizeau interferometer, which uses a rotating radial grating to achieve the required optical frequency shift, is described. An analysis of the effects of grating ruling errors shows that they may be nearly eliminated by averaging the interferometer phase readings over integral numbers of grating revolutions. Experimental tests indicate that the interferometer is capable of measuring with a reproducibility of lambda/200 (lambda = 632.8 nm), limited by temperature effects.

摘要

本文描述了一种外差式斐索干涉仪,它使用旋转的径向光栅来实现所需的光学频移。对光栅刻线误差影响的分析表明,通过在光栅整数转数上平均干涉仪相位读数,这些误差几乎可以消除。实验测试表明,该干涉仪能够以λ/200(λ = 632.8 nm)的重复性进行测量,其受温度效应限制。

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