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Nanoscopic patterned materials with tunable dimensions via atomic layer deposition on block copolymers.

作者信息

Peng Qing, Tseng Yu-Chih, Darling Seth B, Elam Jeffrey W

机构信息

Energy Systems Division, Argonne National Laboratory, IL 60439, USA.

出版信息

Adv Mater. 2010 Dec 1;22(45):5129-33. doi: 10.1002/adma.201002465.

DOI:10.1002/adma.201002465
PMID:20827673
Abstract
摘要

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Nanoscopic patterned materials with tunable dimensions via atomic layer deposition on block copolymers.
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