集成 TiO2 谐振器用于可见光子学。
Integrated TiO2 resonators for visible photonics.
机构信息
School of Engineering and Applied Sciences, Harvard University, Cambridge, Massachusetts 02138, USA.
出版信息
Opt Lett. 2012 Feb 15;37(4):539-41. doi: 10.1364/OL.37.000539.
PMID:22344099
Abstract
We demonstrate waveguide-coupled titanium dioxide (TiO(2) racetrack resonators with loaded quality factors of 2.2×10(4) for the visible wavelengths. The structures were fabricated in sputtered TiO(2) thin films on oxidized silicon substrates using standard top-down nanofabrication techniques, and passively probed in transmission measurements using a tunable red laser.
摘要
我们展示了波导耦合的二氧化钛（TiO(2)）赛道环形谐振器，其在可见光波长下的负载品质因数为 2.2×10(4)。这些结构是在氧化硅衬底上的溅射 TiO(2)薄膜中使用标准的自上而下的纳米制造技术制造的，并在使用可调谐红色激光的传输测量中进行了被动探测。
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