• 文献检索
  • 文档翻译
  • 深度研究
  • 学术资讯
  • Suppr Zotero 插件Zotero 插件
  • 邀请有礼
  • 套餐&价格
  • 历史记录
应用&插件
Suppr Zotero 插件Zotero 插件浏览器插件Mac 客户端Windows 客户端微信小程序
定价
高级版会员购买积分包购买API积分包
服务
文献检索文档翻译深度研究API 文档MCP 服务
关于我们
关于 Suppr公司介绍联系我们用户协议隐私条款
关注我们

Suppr 超能文献

核心技术专利:CN118964589B侵权必究
粤ICP备2023148730 号-1Suppr @ 2026

文献检索

告别复杂PubMed语法,用中文像聊天一样搜索,搜遍4000万医学文献。AI智能推荐,让科研检索更轻松。

立即免费搜索

文件翻译

保留排版,准确专业,支持PDF/Word/PPT等文件格式,支持 12+语言互译。

免费翻译文档

深度研究

AI帮你快速写综述,25分钟生成高质量综述,智能提取关键信息,辅助科研写作。

立即免费体验

基于二氧化钒绝缘体-金属相变的互补金属氧化物半导体兼容混合等离子体调制器

CMOS-compatible hybrid plasmonic modulator based on vanadium dioxide insulator-metal phase transition.

作者信息

Kim Jin Tae

出版信息

Opt Lett. 2014 Jul 1;39(13):3997-4000. doi: 10.1364/OL.39.003997.

DOI:10.1364/OL.39.003997
PMID:24978791
Abstract

To extend the application of an emerging plasmonic material, vanadium dioxide (VO₂), in silicon photonics technology, we propose a complementary metal-oxide-semiconductor (CMOS)-compatible hybrid plasmonic modulator using an VO₂ insulator-metal phase transition. The optical device is based on a directional coupler that consists of a Si waveguide and a Si-SiO₂-VO₂-SiO₂-Si hybrid plasmonic waveguide. By electrically triggering the phase of VO₂ with a driving voltage of 2 V, the propagation loss of the hybrid plasmonic waveguide is switched, and hence the output optical power is modulated. The on/off extinction ratio is larger than 3.0 dB on the entire C-band.

摘要

为了拓展新兴等离子体材料二氧化钒(VO₂)在硅光子技术中的应用,我们提出了一种利用VO₂绝缘体-金属相变的互补金属氧化物半导体(CMOS)兼容混合等离子体调制器。该光学器件基于一个定向耦合器,它由一个硅波导和一个Si-SiO₂-VO₂-SiO₂-Si混合等离子体波导组成。通过用2 V的驱动电压电触发VO₂的相位,混合等离子体波导的传播损耗被切换,从而调制输出光功率。在整个C波段上,开/关消光比大于3.0 dB。

相似文献

1
CMOS-compatible hybrid plasmonic modulator based on vanadium dioxide insulator-metal phase transition.基于二氧化钒绝缘体-金属相变的互补金属氧化物半导体兼容混合等离子体调制器
Opt Lett. 2014 Jul 1;39(13):3997-4000. doi: 10.1364/OL.39.003997.
2
Wavelength-size hybrid Si-VO(2) waveguide electroabsorption optical switches and photodetectors.波长尺寸混合硅-二氧化钒波导电吸收光开关和光电探测器。
Opt Express. 2015 Feb 9;23(3):3657-68. doi: 10.1364/OE.23.003657.
3
Broadband silicon optical modulator using a graphene-integrated hybrid plasmonic waveguide.采用集成石墨烯的混合等离子体波导的宽带硅光调制器。
Nanotechnology. 2015 Sep 11;26(36):365201. doi: 10.1088/0957-4484/26/36/365201. Epub 2015 Aug 21.
4
CMOS compatible polarization splitter using hybrid plasmonic waveguide.采用混合等离子体波导的互补金属氧化物半导体兼容偏振分束器。
Opt Express. 2012 Nov 5;20(23):25345-55. doi: 10.1364/OE.20.025345.
5
Phase modulation in horizontal metal-insulator-silicon-insulator-metal plasmonic waveguides.水平金属-绝缘体-硅-绝缘体-金属等离子体波导中的相位调制
Opt Express. 2013 Apr 8;21(7):8320-30. doi: 10.1364/OE.21.008320.
6
Structurally-tolerant vertical directional coupling between metal-insulator-metal plasmonic waveguide and silicon dielectric waveguide.金属-绝缘体-金属等离子体波导与硅介质波导之间的结构耐受性垂直定向耦合。
Opt Express. 2010 Jul 19;18(15):15531-43. doi: 10.1364/OE.18.015531.
7
Theoretical investigation of silicon MOS-type plasmonic slot waveguide based MZI modulators.基于硅MOS型等离子体狭缝波导的马赫-曾德尔干涉仪调制器的理论研究。
Opt Express. 2010 Dec 20;18(26):27802-19. doi: 10.1364/OE.18.027802.
8
Submicrometer radius and highly confined plasmonic ring resonator filters based on hybrid metal-oxide-semiconductor waveguide.基于混合金属-氧化物-半导体波导的亚微米半径和高度限制的等离子体环形谐振器滤波器。
Opt Lett. 2012 Nov 1;37(21):4564-6. doi: 10.1364/OL.37.004564.
9
Low-loss plasmonic hybrid optical ridge waveguide on silicon-on-insulator substrate.低损耗等离子体混合光学脊型波导在绝缘体上硅衬底上。
Opt Lett. 2011 Aug 1;36(15):2946-8. doi: 10.1364/OL.36.002946.
10
Metal-insulator-silicon-insulator-metal waveguides compatible with standard CMOS technology.与标准互补金属氧化物半导体(CMOS)技术兼容的金属-绝缘体-硅-绝缘体-金属波导
Opt Express. 2011 Apr 25;19(9):8379-93. doi: 10.1364/OE.19.008379.

引用本文的文献

1
Advances in Photonic Devices Based on Optical Phase-Change Materials.基于光学相变材料的光子器件进展
Molecules. 2021 May 10;26(9):2813. doi: 10.3390/molecules26092813.
2
Gate-Tunable Plasmon-Induced Transparency Modulator Based on Stub-Resonator Waveguide with Epsilon-Near-Zero Materials.基于含近零介电常数材料的短截线谐振器波导的栅极可调谐表面等离子体激元诱导透明调制器
Sci Rep. 2019 Feb 26;9(1):2789. doi: 10.1038/s41598-019-39047-y.
3
Bolometric photodetection using plasmon-assisted resistivity change in vanadium dioxide.利用二氧化钒中等离子体辅助电阻变化的测热光电探测。
Sci Rep. 2018 Aug 24;8(1):12764. doi: 10.1038/s41598-018-30944-2.
4
Electrical tuning of the polarization state of light using graphene-integrated anisotropic metasurfaces.利用集成石墨烯的各向异性超表面对光的偏振态进行电学调谐。
Philos Trans A Math Phys Eng Sci. 2017 Mar 28;375(2090). doi: 10.1098/rsta.2016.0061.
5
Graphene Based Surface Plasmon Polariton Modulator Controlled by Ferroelectric Domains in Lithium Niobate.基于石墨烯的表面等离激元极化激元调制器,由铌酸锂中的铁电畴控制。
Sci Rep. 2015 Dec 14;5:18258. doi: 10.1038/srep18258.