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金刚石上微透镜阵列的占有率依赖性研究。

Investigation of the occupancy ratio dependence for microlens arrays on diamond.

作者信息

Zhu Tian-Fei, Fu Jiao, Liu Zongchen, Liang Yan, Wang Wei, Wen Feng, Zhang Jingwen, Wang Hong-Xing

机构信息

Institute of Wide Band Gap Semiconductors, Xi'an Jiaotong University Xi'an 710049 PR China

出版信息

RSC Adv. 2018 Aug 20;8(52):29544-29547. doi: 10.1039/c8ra03803a.

DOI:10.1039/c8ra03803a
PMID:35547301
原文链接:https://pmc.ncbi.nlm.nih.gov/articles/PMC9085271/
Abstract

Diamond microlens arrays with a high occupancy ratio were fabricated by an improved thermal reflow method. Our resultes show that the occupancy ratio of a photoresist mask could be improved with optimizing the reflow temperature, time and photoresist thickness during the reflow process. The fabricated microlens arrays exhibited a uniform arrangement and good optical performance.

摘要

采用改进的热回流法制备了具有高占有率的金刚石微透镜阵列。我们的结果表明，通过在回流过程中优化回流温度、时间和光刻胶厚度，可以提高光刻胶掩膜的占有率。所制备的微透镜阵列呈现出均匀的排列和良好的光学性能。

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