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Spectral Sensitivity and Linearity of Shipley AZ-1350J Photoresist.

作者信息

Norman S L, Singh M P

出版信息

Appl Opt. 1975 Apr 1;14(4):818-20. doi: 10.1364/AO.14.000818.

DOI:10.1364/AO.14.000818
PMID:20134984
Abstract
摘要

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Spectral Sensitivity and Linearity of Shipley AZ-1350J Photoresist.希普利AZ-1350J光刻胶的光谱灵敏度和线性度
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