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溶液处理型多沟道 ZnO 纳米线场效应晶体管与有机栅介质。

Solution processable multi-channel ZnO nanowire field-effect transistors with organic gate dielectric.

机构信息

Advanced Technology Institute, Electronic Engineering, University of Surrey, Guildford, Surrey, GU2 7XH, UK.

出版信息

Nanotechnology. 2013 Oct 11;24(40):405203. doi: 10.1088/0957-4484/24/40/405203. Epub 2013 Sep 12.

DOI:10.1088/0957-4484/24/40/405203
PMID:24029562
Abstract

The present work focuses on nanowire (NW) applications as semiconducting elements in solution processable field-effect transistors (FETs) targeting large-area low-cost electronics. We address one of the main challenges related to NW deposition and alignment by using dielectrophoresis (DEP) to select multiple ZnO nanowires with the correct length, and to attract, orientate and position them in predefined substrate locations. High-performance top-gate ZnO NW FETs are demonstrated on glass substrates with organic gate dielectric layers and surround source-drain contacts. Such devices are hybrids, in which inorganic multiple single-crystal ZnO NWs and organic gate dielectric are synergic in a single system. Current-voltage (I-V) measurements of a representative hybrid device demonstrate excellent device performance with high on/off ratio of ~10(7), steep subthreshold swing (s-s) of ~400 mV/dec and high electron mobility of ~35 cm(2) V(-1) s(-1) in N2 ambient. Stable device operation is demonstrated after 3 months of air exposure, where similar device parameters are extracted including on/off ratio of ~4 × 10(6), s-s ~500 mV/dec and field-effect mobility of ~28 cm(2) V(-1) s(-1). These results demonstrate that DEP can be used to assemble multiples of NWs from solvent formulations to enable low-temperature hybrid transistor fabrication for large-area inexpensive electronics.

摘要

本工作专注于纳米线 (NW) 作为溶液处理场效应晶体管 (FET) 中的半导体元件的应用,旨在实现大面积低成本电子学。我们通过使用电介质电泳 (DEP) 来解决与 NW 沉积和对准相关的主要挑战之一,从而选择具有正确长度的多个 ZnO 纳米线,并将它们吸引、定向和定位在预定的基底位置。在玻璃基底上,使用有机栅介质层和环绕源漏接触,展示了高性能顶栅 ZnO NW FET。这种器件是一种混合器件,其中无机多单晶 ZnO NW 和有机栅介质在单个系统中协同作用。对代表性混合器件的电流-电压 (I-V) 测量表明,在氮气环境中,器件性能优异,具有约 10(7) 的高开关比、约 400 mV/dec 的陡峭亚阈值摆幅 (s-s) 和约 35 cm(2) V(-1) s(-1) 的高电子迁移率。经过 3 个月的空气暴露后,仍能稳定器件的工作,同时提取出类似的器件参数,包括约 4×10(6) 的开关比、约 500 mV/dec 的 s-s 和约 28 cm(2) V(-1) s(-1) 的场效应迁移率。这些结果表明,DEP 可用于从溶剂配方中组装多个 NW,从而实现用于大面积廉价电子产品的低温混合晶体管制造。

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