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Surface Chemistry in the Chemical Vapor Deposition of Electronic Materials.

作者信息

Gates Stephen M.

机构信息

IBM T. J. Watson Research Center, Yorktown Heights, New York, 10598.

出版信息

Chem Rev. 1996 Jun 20;96(4):1519-1532. doi: 10.1021/cr950233m.

DOI:10.1021/cr950233m
PMID:11848801
Abstract
摘要

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Surface Chemistry in the Chemical Vapor Deposition of Electronic Materials.电子材料化学气相沉积中的表面化学
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