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Hydrodynamic focusing lithography.

作者信息

Bong Ki Wan, Bong Ki Tae, Pregibon Daniel C, Doyle Patrick S

机构信息

Department of Chemical Engineering, Massachusetts Institute of Technology, 77 Massachusetts Avenue, Cambridge, MA 02139, USA.

出版信息

Angew Chem Int Ed Engl. 2010;49(1):87-90. doi: 10.1002/anie.200905229.

DOI:10.1002/anie.200905229
PMID:19950160
Abstract
摘要

相似文献

1
Hydrodynamic focusing lithography.流体动力学聚焦光刻法。
Angew Chem Int Ed Engl. 2010;49(1):87-90. doi: 10.1002/anie.200905229.
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